세정 방법별 접촉각

세정 방법은 고전적인 수세 (Wet Cleaning), IPA 세정, 플라즈마 세정, Excimer 세정등 여러가지가 사용된다. 각 방법별 접촉각과 투자비, 운전비 등을 보면 다음과 같다.

No	세정 방법	접촉각( ˚)	회로 Damage	초기 투자비¹	운전비²	비 고
1	무처리 glass 기판	28	No	0	0
2	세제->시수->CH계 용제	42	No	10	200
3	세제->시수->IPA	15	No	15	300
4	세제->시수->DI Water	19	No	250	200
5	세제->시수->오존수	10	No	200	100
6	세제->시수->Plasma	4	Yes	250	70
7	세제->시수->UV/O3	4	No	100	100

*1. 초기 투자비¹ : 초기 투자비는 UV/O3를 100으로 할 때 임의로 추산한 것임
*2. 운전비² : 운전비는 시수비용은 제외하고 UV/O3를 100으로 할 때 임의로 추산한 것이며, 세정량과 정밀도에 따라 다를 수 있음.